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    快速退火炉RTP性能优势

    2015-06-15 11:03:20
    快速退火炉(RTP)-法国Annealsys品牌
     
    优越的性能:
    1. 多区红外卤灯加热增强温度均匀性;
    2. 热耦合高温计同时测温,测温结果更精确;
    3. 可在大气和真空下退火;
    4. 温度控制精度±1℃
    5. 手动或盒到盒式装载系统,可用于小批量生产;
    6. 可选快速降温功能,提高降温速率至100℃/s。
    产品展示:annealsys快速退火炉As-Master。
    AS-Master快速热处理工艺设备能够实现从退火到快速热处理CVD广泛领域工艺要求。高温型可满足运行温度高达1500℃的退火工艺。可选择方形腔体,以完成较大正方形的或者长方形样品的工艺。不锈钢冷壁腔体技术;高工艺重复性超清洁无污染环境、装载器和集成设备模块型号能够实现工艺环境清洁度的改善。宽温度范围、高真空以及多路气体混合能力,使得As-master适合广泛领域的RTP和RTCVD工艺。热电偶温度测量和快速数字PID温度控制器保障高温稳定。


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