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  • 产品信息:RTP快速退火炉

    RTP快速退火炉

    产品型号: AS-ONE
    品  牌: ANNEALSYS
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2018-01-08
    详细信息
    一、设备描述
            快速退火炉又名RTP设备,此设备名称为AS-ONE,分为可以处理4"基片的AS-ONE100以及处理6"基片的AS-ONE150,更小的基片可使用基片托。主要用于大学,研究实验室以及年产量高达10000晶圆的小规模生产。
           尺寸:AS-0NE100/AS-ONE150:530*800*1425mm          
            标配热电偶与高温计测量温度。在温度范围内,通过快速数字PID温度控制器,可获知精确的,可重复的热控制。
           类似蛤蜊壳的外形设计,便于取放基片,以及腔室的清洗。
          

    二、设备的性能和特征
            温度范围:室温至1450℃
            升温速率:可达200℃/s
            冷却速率:特殊配置下,可达100℃/s
            真空范围:常压至10-6 Torr
            全套电脑控制,每个菜单可执行100步
            依据SEMI E95-0200设计的人机界面
            完全的数据和工艺历史记录
          
           其他:
            不锈钢冷腔室壁技术
             高冷却速率,低记忆效应
            边缘高温计视口,确保用于化合物半导体和小型样品
            可控制的基片托温度
            镀石墨烯和碳化硅的基片托
           


    三、主要应用
            快速热退火
            快速热氧化
            扩散、接触式退火
            化合物半导体退火
            结晶及致密化

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