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  • 产品信息:快速退火炉

    快速退火炉

    产品型号: AS-Micro
    品  牌: 法国Annealsys
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2019-05-20
    详细信息
    一、设备介绍
    快速退火炉AS-Micro, 由法国Annealsys生产,主要应用于实验室,处理3“基片。

    二、快速退火炉相关参数规格
    温度范围:室温至120℃
    工艺气路:*多4条配有MFC工艺气路,1条吹扫气路
    升温速率:200℃/s, 对于2”硅片,升温速率可达250℃/s
    设备可选单腔室与双腔式两种,双腔式可防止交叉污染。
    配有热电偶完成温度测量,可选高温计。
    工艺腔室中带有石英管以及不锈钢法兰。
    若测试2“基片样品,可选择3”基片托。

    三、快速退火炉的主要应用
    快速热退火(Rapid Thermal Annealing)
    注入退火(Implantation Annealing)
    欧姆接触退火(Ohmic Contact Annealing)
    快速热氧化(Rapid Thermal Oxidation)
    快速热氮化(Rapid Thermal Nitridation)
    石墨烯的快速热化学沉积(RTCVD of Graphene)
     
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