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  • 产品信息:RTP快速退火炉

    RTP快速退火炉

    产品型号: As-Master
    品  牌: ANNEALSYS
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2018-01-08
    详细信息
    法国进口annealsys
    RTP快速退火炉

    As Master 8英寸高温真空RTP/RTCVD系统
    RTCVD 性能 (可选)
    室温至1500°C 降至 10-6 Torr.
    应用
       快速热处理 (RTA, RTO...)
       SiC 接触式退火,碳化
       化合物半导体退火
       离子注入质量控制
       RTCVD (poly silicon, SiO2, SiNx,…)
       其他
    具体参数
        AS-Master快速热处理设备,功能强大,处理范围广
        包括从退火工艺至快速热化学气相沉积CVD工艺
        高温版本可处理最高1500°C的退火工艺并允许
        研发新工艺。经要求,可提供方形腔室用于处理
        较大的方形或矩形样品
        冷腔室壁技术允许在高度洁净及无污染环境下
        工艺复现性高
        可提供进样室和集成模块版本改进工艺
        环境清洁
        温度范围扩大,真空性能(大气 10-7 Torr)  
        As-Master的气体混合性能适用于大范围RTP
        RTCVD 工艺。  
        高温计和热点偶温度测量搭配快速数字化
        PID 温度控制器,使设备拥有较高且稳定的温度精度  
        手工装载盒到盒版本,适用于工艺研发  
        且易转入规模生产。 
     AS-Master快速热处理工艺设备可选择方形腔体,以完成较大正方形或长方形手动样品的工艺。
    手动装载和机械手自动cassette到cassette的型号使得系统可灵活配置,提高产品质量和生产效率。

    性能 & 特征
    温度范围: 室温 1500°C
        升温速率 200°C/s
        带质量流量控制器的气体混合性能
        真空范围:大气 10-7 Torr
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