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  • 产品信息:CIGS薄膜太阳能电池设备

    CIGS薄膜太阳能电池设备

    产品型号: FHR.Line 2500
    品  牌: FHR
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2018-01-08
    详细信息

    CIGS薄膜太阳能电池设备

    CIGS铜铟镓硒薄膜太阳能镀膜设备

    柔性薄膜太阳能电池设备
    硬性薄膜太阳能电池设备

    FHR.Line产品系列

     

    FHR 直线式设备

     

    产品优化、产量高的中试线及实验线

    在线式或摆动式基片传输

    可实现前后端同步镀膜

    可整合不同工艺技术

     

    在线式理念是大面积、高产能基片沉积及镀膜的正确解决方案。我司可根据客户基片尺寸要求,专业提供水平或垂直基底的在线式解决方案。应客户要求,可实现手动或全自动传输模式及加热或刻蚀预处理基片。

     

    可整合不同工艺技术

    • 磁控溅射
    • 热蒸发
    • 化学气相沉积 CVD / 等离子-增强化学气相沉积
    • 原子层沉积 (ALD)
    • 等离子刻蚀 (PE) / 反应离子刻蚀 (RIE)
    • 退火 (FLA & RTP)

    多腔设备特殊应用

    • 光伏
    • Solar Thermals(CSP)
    • 建筑玻璃
    • 传感器工艺
    • 光学

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