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  • 产品信息:Cambridge 原子层沉积设备

    Cambridge 原子层沉积设备

    产品型号: Savannah系列
    品  牌: Cambridge
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2018-01-08
    详细信息
    Savannah 系列
    美国Cambridge 设备
    ALD设备
    原子层沉积系统ALD
    基本性能
     
    ALD设备
    可选腔室尺寸:100mm, 200mm 或 300mm
    标准腔室温度:400℃/350℃/350℃
    占地面积小
    标配2个气源,可选配6个气源
    性能可扩展,灵活性高
    设备设计精简

    设备内整合了蒸气阱
    快速ALD工艺处理 (2秒处理AL2O3)
    批量处理
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