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  • 产品信息:RTP快速退火炉

    RTP快速退火炉

    产品型号: as-micro
    品  牌: Annealsys
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 北京
    更新日期: 2018-01-08
    详细信息
    AS-MIRCO
    实验室用3英寸Rapid Thermal Processing(RTP)设备

     

    双腔版本防止交叉污染

     

    应用

     

    快速热处理 (RTA, RTO...)

    离子注入退火

    结晶化和致密化

    硒化和硫化

    其他

     

    具体参数

     

    3英寸真空快速退火炉(快速热处理炉)RTP

    便携式桌面配置

    用于研发

    样品尺寸:平方毫米 至 3-inch 直径

    可选 3-inch 基片托适用 2-inch 样品

    工艺腔室带石英管和不锈钢法兰

    管式红外卤灯炉

    极快的升温速率

    带石英托盘的水平移动门板,便于装卸基片

    配备热电偶

     

    性能和特征

     

    温度范围: 室温 至 1250°C

    2英寸硅片升温速率可达250°C/s, 3英寸基片可达200°C/s

    带质量流量控制器的气体混合性能 

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